CMOS集成电容绝对压力传感器

CMOS集成电容绝对压力传感器是基于集成电路主流工艺集成的新型传感器,克服了传统传感器的缺点并利于批量生产,介绍了传感器的原理,结构及处理电路,并对微系统集成的概念及生产工艺进行了讨论,对传感器的应用前景及领域进行了展望与预测。     

基于槽式悬臂梁结构的微质量传感器设计

压电式微质量传感器的测试精度直接依赖于结构频率对质量变化的灵敏程度。本文利用对称槽型梁和压电薄膜组成的对称敏感结构,提出了一种提高传感器灵敏度的结构设计方法,并设计了一种高精度谐振式微质量传感器。建立了结构频率变化对吸附质量敏感性的分析模型,并研究了槽型截面参数、自振频率及振动模态对灵敏度的影响。与矩形截面结构进行了仿真与实验对比,结果表明,相同几何尺寸参数下,槽型截面悬臂梁的一阶自振频率为1 851 Hz,矩形截面悬臂梁的一阶自振频率为1 610 Hz,相应的传感器灵敏度则分别为3.12×10⁴ Hz/g和1.5×10⁴ Hz/g,前者是后者的2倍。该项设计为提高微质量传感器灵敏度提供了一种新思路。     

热敏电阻应用于风速传感器的设计

介绍了以负温度系数热敏电阻为栓测器件的风速传感器的测量原理,讨论了风速-电压转换的结构机理与理论推导,给出了精确的曲线以及实际线路分析,并对仪表引起的测量误差及应采取的措施进行了讨论.     

悬臂梁式传感器的简易测试

今年,本公司两台动态轨道衡进行大修,其中的Z7A-20t悬臂梁式传感器也需要检定。公司自备有EEG-30型标准测力机,却没有配套的专用装置对传感器进行检测。联系外单位,因无专用底座,检定也无法进行。 在这种情况下,经过研究,我们采取了两只传感器背靠背紧固成一体送测力机测试的     

电容式微加速度传感器的现状及研究方向

综述了典型的电容式微加速度传感器的工作原理,结构和特点,并对这类传感器的若干关键技术及研究方向进行了探讨。     

电容式油水界面液位传感器的设计

本文设计了圆柱形电容传感器,其输出为4￣20mA信号,可与自动控制仪表及相应执行部件构成油水界面自动监控系统。只需通过简单的标定,便可用于各种油品。圆柱形传感器测量精度可达±1mm,可以在室温到100℃变温环境下正常工作。     

基于AM402的电流量输出电容式角度传感器

设计了一种新型的电容式角度传感器，并利用电容式信号转换集成电路CAV424和电压一电流转换接口电路AM402，将电容传感器信号转化为4-20mA标准的工业电流输出。该系统能够有效地降低干扰和测量误差，在0-90°的范围内实现对角度的精确测量，得到线性度良好的直流电流量输出。     

一种小量程风速风向传感器的设计

设计了一种基于微机械加工技术的风速风向传感器,传感器由四个相互正交的电容器构成,每个电容器包括可动极板和固定极板,此结构将风速和风向信息转换为可动极板的位移,通过测量四个电容器的电容来检测风速和风向。基于流体力学原理对传感器进行了分析,理论计算了传感器的输出电容和风速风向之间的变化关系,为传感器设计了一套基于MEMS的加工工艺流程。     

基于Mindlin模型的悬臂梁传感器接触滞后误差分析

基于摩擦学方法对悬臂梁安装结构建立物理模型,采用有限元方法计算接触面的应力状态进行求解,然后根据接触力学中的Mindlin方法得出接触面耗散的能量,从而得出接触面产生的滞后误差。通过试验对计算结果进行验证,结果表明悬臂梁的滞后误差与加载额度和最大载荷有关。但最大载荷一定时,相对滞后误差趋近于常数。设计应用悬臂梁式传感器时,要根据载荷确定安装面的结构能够在一定范围内提高悬臂梁传感器的精度。     

杯式风速传感器启动风速校验系统的设计

杯式风速传感器是目前应用最为广泛的风速传感器,其启动风速取决于它的启动力矩,不良的轴承会导致传感器的启动力矩比正常值偏高,从而影响其测量的准确性。为此设计开发了杯式风速传感器启动风速检验系统,该系统以应变式力传感器为测力元件,MSP430低功耗单片机作为主控芯片,采用高精度AD转换芯片以及比例式测量技术保证了系统的精度,辅以光电开关实现对杯式风速传感器启动力矩的测量,最终达到校验其启动风速的目的。本系统功耗小,便于携带,适用于杯式风速传感器启动力矩(启动风速)的现场校验。     

新型角度电容传感器

介绍了一种新型非接触式测量角度的电容传感器,这种传感器包含1个传导电信号并可影响电容值大小的旋转电极和2个用来发射接收电信号的固定电极,经后续放大电路的电信号处理,可由其输出变化电压值来测算出中间转子的转动角度,这种低造价的传感器的主要优点在于其可以在相对潮湿或者并不太理想的环境下使用。实验结果表明其误差可控制在很小的范围内。     

CMOS集成二维风速和风向传感器的研制

提出了一种新型结构的二维风向和风速传感器，其芯片上集成有运算放大电路。它主要由位于绝缘薄膜上的热敏感元件和加热电阻所组成，其中热敏感元件由两组互相垂直且分别对称放置的铝／多晶硅型热电堆所构成，加热电阻位于热敏感元件的中间。具体阐述了此传感器的工作原理、结构尺寸和制备工艺，最后给出了试制的芯片和传感器的测量结果。     

电容液滴传感器

电容液滴传感器是利用液滴头和环形极板组成的特殊电容传感器，将液滴体积的变化转化成电容量的变化，从而间接测量液滴的体积。文中具体介绍了电容液滴传感器的工作原理，同时给出随液滴生长过程液滴体积的变化规律，并用图像处理的方法对液滴体积进行计算，得到基于频率的液滴体积变化曲线。     

一种基于AVR单片机的风速检定装置

介绍一种基于AVR单片机的风速检定装置。它能够通过键盘设定来输出特定的转速值,并通过显示屏显示出来,从而检定被检的风速风向传感器的风速测量功能是否正常,测量数值是否准确。保证了传感器生产维修的准确性。     

单总线数字可寻址风向风速传感器的设计

介绍利用DS系列器件DS2450和DS2423设计的符合单总线规范的风向风速传感器。文中对传感器的结构及工作原理作了详尽的阐述．     

基于海绵介质层的电容式三维力触觉传感器

为了提高电容式触觉传感器在较大量程范围内的灵敏度,应用P DMS(聚二甲基硅氧烷)海绵微结构作为介质层,设计了电容式三维力触觉传感器.利用有限元软件对海绵介质层和普通薄膜介质层进行性能对比,同等压力作用下,海绵微结构触觉传感器拥有更高的灵敏度.对传感器单元进行有限元分析,得到传感器在三维力作用下的形变情况和电容变化趋势...     

基于PMAC运动控制卡的风洞风速控制系统

介绍了一种基于PMAC多轴运动控制卡的风洞风速控制系统。采用Pc作为上位机,PMAC运动控制卡为控制核心,风速传感器为反馈,控制两套交流旋转伺服系统驱动风扇运转。建立了伺服系统的控制模型并在Simulink仿真环境下进行了仿真;利用Visualc#语言开发设计了风洞风速控制软件。在所搭建风速控制平台上进行风速控制实验,结果表明该风洞控制系统能够快速、准确实现风速的调控。     

基于最小二乘法的差动变面积式电容传感器非线性拟合

分析了差动变面积式电容传感器的非线性因素,研究了用最小二乘法进行电容传感器非线性拟合的方法,并给出了用最小二乘法求得的差动变面积式电容传感器的拟合特性曲线函数关系,最后给出了拟合曲线与实验测得数据的误差。     

基于CAV444的电容式液位传感器设计与优化

文中介绍了电容式液位传感器的测量原理,提出了一种基于CAV444线性电容-电压转换芯片的电容式液位传感器设计与优化方案。该方案根据所测液位范围对应的电容值变化范围对调理电路的输出电压进行了变换,以提高传感器的灵敏度,并根据被测信号的带宽设计了低通数字滤波器,提高了传感器的抗干扰能力。测试结果表明,该传感器性能稳定,最大非线性误差为0.75%,测量结果线性度好;引用误差为1.13%,测量准确度高,能够满足大多数工业现场实际的液位测量需求。     

车用新型陶瓷电容式压力传感器

压力传感器是车辆电子控制装置获得压力信息的主要元件之一,文章通过对电容式压力传感器基本原理的分析,阐述在电容敏感材料变为陶瓷时,其性能、特点、精度及相应的信号处理,使其在低成本的基础上,广泛地应用于社会的各个领域