激光微细加工在显示器应用中的新技术和发展

近年来，显示器得到了快速发展，并且没有放慢发展速度的迹象。该领域中的一个最重要的进展是利用激光完成各种微细加工任务。本文描述了利用准分子激光在聚合物材料中加工制造各种新型微细结构的新技术，同时给出一些典型微细结构的加工实例，并概述了激光技术在显示器制作方面的应用。最后讨论显示器激光加工制造的未来发展。     

准分子激光及其在微细加工中的应用

本文介绍准分子激光发展历史基本原理及其特性，并讨论了准分子激光在微细加工中的应用。     

准分子激光加工的应用

准分子激光加工的应用前言准分子激光器是一种大能量、高功率紫外激光器，作为超微细加工工具，在各种应用领域均受到重视，并且准分子激光器作为产业使用正逐步实用化。本文介绍准分子激光器的几种实用例子，重点介绍其优良的加工特性。首先，准分子激光加工的特征归纳为...     

准分子激光直接刻蚀聚酰亚胺技术研究

一、引言随着大规模集成电路和集成光学的不断发展,对加工技术的要求越来越高,如目前提出图形的精细化,过程低温化,掺杂薄层化及可控性优化等,而准分子激光器则以它能量高、波长短(200～400nm)等优点为解决这些问题提供了有利条件。于是,八十年代开始形成了准分子微细加工新兴技术领域。准分子激光微细加工大体可分为激光曝光技术,激光CVD     

准分子激光微细加工技术

准分子激光器是一种高功率、高效率的紫外激光器,在未来利用紫外光技术的光产业中具有独特的作用。目前已在激光化学、激光生物医学和激光新材料等科学领域中显示出潜在的活力。然而最活跃的是准分子激光微细加工技术。图1给出了半导体材料主要加工技术的发展概况。从图1可以看出激光微细加工在半导体技术中的重要地位。本文对该领域的激光曝光、激光CVD、激光掺杂和激光刻蚀技术等四个方面作简要的介绍。     

LPX305iF型准分子激光光束质量诊断

以准分子激光应用于微细加工为目的,采用了一套光束诊断技术对德国Lambda Physik LPX 305iF型KrF准分子激光器进行了全面鉴定。     

激光微细加工:新的发展与应用

准分子激光微细加工已成为一种成熟的加工技术,在工业中有着广泛的应用,如喷墨打印机喷嘴的钻孔、传感器的生产和显示板的加工等。本文描述了准分子激光加工系统的重要概念,给出了在微细加工领域中已被开发出来的各种新方法。重点描述了用于加工复杂的、多层次三维微细结构的各种加工技术,并用加工出来的结构实例说明了它们的相关应用。此外,还给出了用亚纳秒固体纤维激光器进行微细加工获得的初步结果。最后叙述了用超短脉冲激光器进行激光微细加工这个快速增长的技术领域。     

高重复频率大功率准分子激光器

准分子激光器是紫外区的一种大功率激光器，与采用CO2激光器或YAG石榴石 激光器的传统热加工不同，用准分子激光器有可能进行非热平衡、低温和微细加工。因此，这种激光器将来很有可能用作新一代半导体处理的光源。     

准分子激光加工PMMA生物芯片片基的实验研究

用准分子激光对高聚物材料进行微加工制作,可以得到比较理想的高聚物基生物芯片。采用248nm的KrF准分子激光器对PMMA(聚甲基丙烯酸甲酯)进行微细加工,探讨了准分子激光与PMMA相互作用的机理。进行了表面微通道制作和打孔实验,研究激光加工的工艺参数及加工质量的变化规律。结果表明,准分子激光蚀刻完全适合生物芯片的制作,而且加工过程简单,是一种行之有效的制作方法。     

简明消息

索尼销售DVD放演机索尼公司于97年3月21日在日本国内销售DVD放演机。这种DVD放演机是能再现音乐CD、视频CD的“DVP-S700”（11万日元）。它装有公司独自开发的“独立双读取头”，对于具有不同物理特性的CD和DVD都可读取最佳的信号。（思源供稿）小型准分子激光微细加工装置简明消息日本一家公司［（株）］将销售小型、操作性能优异的准分子激光微细加工装置“MicroMaster”（见照片）。该装置可通过PC机键操作简单地变更投影倍率和激光输出。因此能改变各种参数进行激光照射的加工实验，并适合少量多品种生产。激光器采用德国AT…     

利用准分子激光器进行微细加工的现状及展望

由于激光经射束聚焦可获得极高的能量,故广泛地用于各种加工.其中,准分子激光器与其它波长较长的激光器(如二氧化碳激光器、YAG激光器)相比,被认为最适于微细加工,其特点:①被加工物为高分子材料时,采用以烧蚀现象为主的加工工艺.②因属短波段,故分辨率非常高,可实施100μm以下的打孔.③采用干刻加工工艺,可使前后工序简单化.采用准分子激光器进行微细加工、尤其是近来对印刷电路板的打孔加工引起人们的关注.以往采用钻孔加工,要使孔直径在     

两级复眼式准分子激光微加工均束器的设计

介绍了一种两级复眼式均束器的设计。它不仅均匀效果好,传输效率高,输出光束截面尺寸连续可调,而且为掩模投影式准分子激光微加工系统提供了恰当的照明数值孔径,是准分子激光进行微机械、微光学、微电子等微细加工的优良照明系统。     

基于准分子激光工艺制作X射线光掩膜

LIGA工艺是一项能够应用于制造三维微机械结构的微细加工技术,但制作掩膜版工艺复杂、成本高。为了解决商用的微光学系统制造成本问题,在Au薄膜上用准分子激光直写的方法制作掩膜,这样既能够很快得到雏形,同时也能够降低制作的掩膜版的成本。分析讨论了基于电子束制作掩膜版和基于准分子激光制作掩膜版两种方法,得出了准分子激光制作的掩膜在成本和时间上都有优势的结论。将通过准分子激光技术制作的掩膜置于X射线下,在PMMA基板上可以加工很好的三维微结构。通过依次直接激光烧蚀金薄膜可以加工具有一系列微球状结构的吸收体图形,再将此图形转写到PMMA基板上,可以得到的最低像素为25μm。     

充满活力的光学微细加工技术

本文简要评述了近年来国外光学微细加工技术的最新进展。常规光学曝光己可满足16MDRAM生产的要求;准分子激光曝光有能力实现64M甚至256MDRAM生产;宽带步进扫描曝光机和激光图形制作系统也在集成电路制造中显示了强大实力。九十年代仍将是光学微细加工技术继续占居主导地位的时代。     

铜膜印刷板表面准分子激光微细加工技术的研究

用ＫｒＦ准分子激光，在稀释的Ｃｌ２气体中对镀有铜膜的印刷板进行微细加工，得到的最小腐蚀宽度为１６μｍ。     

多工位微细加工装置

本产品是由小型准分子激光器、投影光学系统、试样表面观察系统、X—Y控制系统组成的多工位微细加工装置.该装置可加工最小1μm的孔.以集中一点的高倍率投影方式可获得与大型激光器相同的高能量密度,最适合于金刚石、陶瓷、金属薄膜、聚合物之类的微细加工.其性能指标:     

日本住友重机械工业公司“激光中心”——集采样加工、开发、设计、制造、服务为一体的综合性中心

日本住友重机械工业公司将1988年世界屈指可数的综合光学仪器厂和某公司归为自己下属,开始向光学界进军。1992年在当时该公司下属的平塚研究所开设了“激光中心”。该中心设置了装有YAG激光器、准分子激光器、短脉冲CO_2激光器等所有激光振荡器的加工系统,以满足用户的需求,集采样加工、开发、设计、制作、服务为一体。     

准分子激光微透镜整形均束装置

报道了248 nm准分子激光微透镜整形均束装置的研制结果。实际采集并拍摄了248 nm准分子激光光能量分布的彩色图像,使用Matlab分析处理该图像并提取了相关信息进行计算,通过光学软件ZEMAX模拟出符合实际准分子激光光能量分布的光源。通过分析空间光能量分布特征,设计并加工出一套适用于248 nm准分子激光的微透镜整形均束装置,且理论模拟和实际测试结果相吻合。248 nm准分子激光通过该光学系统整形均束后,可以在工作平面上得到一个约18 mm×18 mm的正方形光斑,光斑的能量均匀度误差(加工窗)在±2%以内,平顶因子为0.90,光能量通过率为85%左右,解决了248 nm准分子激光光斑形状不规则,且光斑能量分布不均匀的问题。该装置的研制成功,对于优质、高效地开展准分子激光微加工提供了具有自主知识产权的技术支撑。     

激光在微电子器件制造中的应用

本文简要综述激光辅助的加工技术在微电子器件制造中的应用,包括激光修复电路和掩模、激光制版、激光光刻,以及激光直接投影作图加工等情况。值得注意的是,作为微细加工关键设备的以准分子激光器为光源的分步重复光刻机近年来有了突破性进展,达到的分辨率为0.5～0.25μm,视场约15mm×15mm,能对Φ200mm的硅片以每小时十几片的生产率进行光刻,这已为生产16M DRAM(动态随机存储器)作好准备。     

激光系统在芯片制造中崭露头角

一年以前,一批新的激光系统才刚刚进入集成电路的制造领域。激光在今后的芯片制造中应用前景现在已经明朗化。更进一步的深入应用还有待于半导体厂家去努力。XMR公司说,他们生产的用于硅电路微细加工的准分子激光系统LMMC,在其投产后的第二年底,开始有了转机。但这家公司的另一台系统就不那么幸运,那是一台基于准分子激光辅助掺杂技术,用于大容量存储器芯片的精确的极浅扩散系统。该公司眼下还在寻找一家大公司对它的系统进行投资。