| 机载小型化快速反射镜用微位移测量传感器设计 |
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| 引用本文： | 徐新行,王恒坤,韩旭东,王 兵,高云国.机载小型化快速反射镜用微位移测量传感器设计[J].仪器仪表学报,2015,36(9):1937-1944. |
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| 作者姓名： | 徐新行 王恒坤 韩旭东 王 兵 高云国 |
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| 作者单位： | 1. 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所长春130033；
2.中国科学院大学北京100049 |
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| 基金项目： | 吉林省自然科学基金(201115123)、国家863计划(2011AA7031024G)项目资助 |
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| 摘 要： | 为了实现机载小型化FSM的闭环控制,设计了一款小体积、高精度、高环境适应性的微位移测量传感器。首先根据位移传感器的技术原理和机载FSM的应用需求,提出了微位移测量传感器的主要设计指标。然后,分别对微位移测量传感器的发光元件、密珠滑轨、测量光栅和接收元件等进行了详细设计与选择。其中,高精度密珠滑轨的采用不仅减小了测量过程中的附加阻力,而且使光栅副的运动更加精准;光栅副通光窗口的引入、独特零件编码的设计、裂相法信号提取方式的采用,保证了微位移测量传感器的高低温性能。最后,针对微位移测量传感器在机载小型化FSM上的应用效果进行了理论分析与实验检测。结果显示:机载小型化FSM的方位指向误差不超过3.4″,俯仰指向误差不超过3.8″,证明了专用型微位移测量传感器高精度、高分辨力和高响应速度的技术特点,满足机载小型化FSM的应用需求。
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| 关 键 词： | 快速反射镜 位移传感器 测量光栅 增量式 |
Design of displacement sensor for fast steering mirror with
small volume on airborne platform |
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| Xu Xinhang,Wang Hengkun,Han Xudong,Wang Bing,Gao Yunguo.Design of displacement sensor for fast steering mirror with
small volume on airborne platform[J].Chinese Journal of Scientific Instrument,2015,36(9):1937-1944. |
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| Authors: | Xu Xinhang Wang Hengkun Han Xudong Wang Bing Gao Yunguo |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | fast steering mirror displacement sensor metrological gratings increment |
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