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| 第三代激光干涉仪——固体微片激光自混合测量技术的突破 | |
| 引用本文： | 张书练,谈宜东.第三代激光干涉仪——固体微片激光自混合测量技术的突破[J].计测技术,2018(3). |
| 作者姓名： | 张书练 谈宜东 |
| 作者单位： | 清华大学精密仪器与机械学系光电工程研究所精密测试技术及仪器国家重点实验室 |
| 摘 要： | 微片激光自混合干涉仪原理上与迈克尔逊干涉仪不同。主要差别是:激光自混合干涉仪的光束照射在被测物上并被反射回激光器被激光器内放大介质放大。作者课题组研究的的激光自混合干涉仪的测量速度达到了1 m/s以上,10 m空程的环境误差小到了40 nm。它具有全固态、可测"黑"目标的位移等性能,又达到了传统激光干涉仪的技术指标。如果第一代光学干涉仪是以光谱灯做光源,第二代光学干涉仪是以He Ne气体激光器做光源的话,固体激光自混合干涉仪因其激光"自混合"原理可看成是第三代激光干涉仪。 |
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