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| ±16g三质量块三轴MEMS电容式加速度计的设计 | |
| 引用本文： | 虎勇,李绍荣,郭威,蒋婷,郭小伟,邹力,任颖慧,梁杰.±16g三质量块三轴MEMS电容式加速度计的设计[J].电子科技大学学报（自然科学版）,2023(3):444-450. |
| 作者姓名： | 虎勇 李绍荣 郭威 蒋婷 郭小伟 邹力 任颖慧 梁杰 |
| 作者单位： | 1. 雅砻江流域水电开发有限公司;2. 电子科技大学光电科学与工程学院;3. 电子科技大学长三角研究院(湖州) |
| 摘 要： | 微电子机械系统(MEMS)惯性传感器(如加速计、陀螺仪)具有高性能、低功耗、低成本、集成度高、可靠性高、体积小等特点。但MEMS传感器交叉串扰仍较大，影响了加速度的测量。该文设计了一个量程为±16 g的三质量块三轴MEMS电容式加速度计结构，通过对所设计的结构进行静力学分析和模态分析，保证加速度计良好的抗过载能力。仿真结果表明，该结构实现了模态分离避免了模态干扰，且交叉灵敏度均小于0.3%，有效地降低了交叉串扰。 |
| 关 键 词： | 电容式加速度计 高精度 MEMS 三质量块 |
